Awọn ohun elo aabo ina jẹ apakan pataki ti yara mimọ. Pataki rẹ kii ṣe nitori pe ohun elo ilana rẹ ati awọn iṣẹ ikole jẹ gbowolori, ṣugbọn tun nitori awọn yara mimọ jẹ awọn ile ti o ni pipade, ati diẹ ninu paapaa jẹ awọn idanileko laisi window. Awọn ọna yara mimọ jẹ dín ati ki o tortuous, ṣiṣe awọn ti o soro lati evacuate eniyan ki o si kọ ina. Lati le rii daju aabo awọn aye ati ohun-ini eniyan, eto imulo aabo ina ti “idena akọkọ, apapọ idena ati ina” yẹ ki o ṣe imuse ni apẹrẹ. Ni afikun si gbigbe awọn igbese idena ina ti o munadoko ninu apẹrẹ ti yara mimọ, Ni afikun, awọn ohun elo ija ina pataki tun ṣeto. Awọn abuda iṣelọpọ ti awọn yara mimọ ni:
(1) Ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò àti ohun èlò ìkọ́nilẹ́kọ̀ọ́ ni ó wà, àti oríṣiríṣi ti iná, ìbúgbàù, ipata, àti àwọn gáàsì olóró àti àwọn olómi ni a lò. Ewu ina ti diẹ ninu awọn ẹya iṣelọpọ jẹ ti Ẹka C (gẹgẹbi itọka oxidation, fọtolithography, fifin ion, titẹ sita ati apoti, ati bẹbẹ lọ), ati diẹ ninu jẹ ti Ẹka A (gẹgẹbi fifa kirisita ẹyọkan, epitaxy, ifasilẹ orule kemikali, ati bẹbẹ lọ). .).
(2) Yara mimọ jẹ airtight gaan. Ni kete ti ina ba ti jade, yoo nira lati ko awọn oṣiṣẹ kuro ki o si pa ina naa.
(3) Iye owo ikole ti yara mimọ jẹ giga ati ohun elo ati ohun elo jẹ gbowolori. Ni kete ti ina ba jade, awọn adanu ọrọ-aje yoo jẹ nla.
Da lori awọn abuda ti o wa loke, awọn yara mimọ ni awọn ibeere giga pupọ fun aabo ina. Ni afikun si aabo ina ati eto ipese omi, awọn ẹrọ imukuro ina ti o wa titi yẹ ki o tun fi sii, paapaa awọn ohun elo ti o niyelori ati awọn ohun elo ni yara mimọ nilo lati pinnu ni pẹkipẹki.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹrin Ọjọ 11-2024