ITOJU IROSUN ATI IROSUN IROSUN NI yara mimọ

Idaabobo ayika jẹ akiyesi siwaju ati siwaju sii, paapaa pẹlu jijẹ oju ojo haze. Imọ-ẹrọ yara mimọ jẹ ọkan ninu awọn iwọn aabo ayika. Bii o ṣe le lo imọ-ẹrọ yara mimọ lati ṣe iṣẹ to dara ni aabo ayika? Jẹ ki a sọrọ nipa iṣakoso ni imọ-ẹrọ yara mimọ.

Iwọn otutu ati iṣakoso ọriniinitutu ni yara mimọ

Iwọn otutu ati ọriniinitutu ti awọn aaye mimọ jẹ ipinnu nipataki da lori awọn ibeere ilana, ṣugbọn nigbati o ba pade awọn ibeere ilana, itunu eniyan yẹ ki o gba sinu akọọlẹ. Pẹlu ilọsiwaju ti awọn ibeere mimọ afẹfẹ, aṣa wa ti awọn ibeere ti o muna fun iwọn otutu ati ọriniinitutu ninu ilana.

Gẹgẹbi ipilẹ gbogbogbo, nitori iṣedede ti iṣelọpọ ti n pọ si, awọn ibeere fun iwọn iwọn otutu ti n dinku ati kere si. Fun apẹẹrẹ, ninu lithography ati ilana ifihan ti iṣelọpọ iyika isọpọ titobi nla, iyatọ ninu olùsọdipúpọ imugboroosi gbona laarin gilasi ati awọn ohun alumọni ohun alumọni ti a lo bi awọn ohun elo boju-boju n di pupọ si kekere.

Wafer ohun alumọni pẹlu iwọn ila opin ti 100 μm nfa imugboroja laini ti 0.24 μm nigbati iwọn otutu ba dide nipasẹ iwọn 1. Nitorinaa, iwọn otutu igbagbogbo ti ± 0.1 ℃ jẹ pataki, ati pe iye ọriniinitutu jẹ kekere nitori lẹhin lagun, ọja naa yoo jẹ ti doti, ni pataki ni awọn idanileko semikondokito ti o bẹru iṣu soda. Iru idanileko yii ko yẹ ki o kọja 25 ℃.

Ọriniinitutu ti o pọju nfa awọn iṣoro diẹ sii. Nigbati ọriniinitutu ojulumo ba kọja 55%, condensation yoo dagba lori ogiri paipu omi itutu agbaiye. Ti o ba waye ni konge awọn ẹrọ tabi iyika, o le fa orisirisi ijamba. Nigbati ọriniinitutu ojulumo jẹ 50%, o rọrun lati ipata. Ni afikun, nigbati ọriniinitutu ba ga ju, eruku ti o tẹle si oju ti wafer silikoni yoo jẹ kikokoro kemikali lori aaye nipasẹ awọn ohun elo omi ni afẹfẹ, eyiti o nira lati yọ kuro.

Awọn ọriniinitutu ojulumo ti o ga julọ, yoo le ni lati yọ adhesion kuro. Bibẹẹkọ, nigbati ọriniinitutu ojulumo ba wa ni isalẹ 30%, awọn patikulu tun ni irọrun adsorbed lori dada nitori iṣe ti agbara elekitiroti, ati pe nọmba nla ti awọn ẹrọ semikondokito jẹ ifaragba si didenukole. Iwọn otutu ti o dara julọ fun iṣelọpọ wafer silikoni jẹ 35-45%.

Afẹfẹ titẹiṣakosoninu yara mimọ 

Fun ọpọlọpọ awọn aaye mimọ, lati le ṣe idiwọ idoti ita lati ikọlu, o jẹ dandan lati ṣetọju titẹ inu (titẹ aimi) ti o ga ju titẹ ita lọ (titẹ aimi). Itọju iyatọ titẹ yẹ ki o ni ibamu pẹlu awọn ipilẹ wọnyi:

1. Awọn titẹ ni awọn aaye mimọ yẹ ki o ga ju eyini lọ ni awọn aaye ti ko mọ.

2. Awọn titẹ ni awọn aaye pẹlu awọn ipele mimọ ti o ga julọ yẹ ki o ga ju pe ni awọn aaye ti o wa nitosi pẹlu awọn ipele mimọ kekere.

3. Awọn ilẹkun laarin awọn yara mimọ yẹ ki o ṣii si awọn yara pẹlu awọn ipele mimọ giga.

Itọju iyatọ titẹ da lori iye ti afẹfẹ titun, eyi ti o yẹ ki o ni anfani lati sanpada fun jijo afẹfẹ lati aafo labẹ iyatọ titẹ yii. Nitorinaa itumo ti ara ti iyatọ titẹ ni resistance ti jijo (tabi infiltration) ṣiṣan afẹfẹ nipasẹ ọpọlọpọ awọn ela ni yara mimọ.