ÌṢÀKÓSO ÌWỌ̀N ÀTI ÌDÁKÓSO Afẹ́fẹ́ NÍ YÀRÀ TÓ MỌ́

Ààbò àyíká ni a ń fún ní àfiyèsí púpọ̀ sí i, pàápàá jùlọ pẹ̀lú bí ojú ọjọ́ ṣe ń pọ̀ sí i. Ìmọ̀ ẹ̀rọ yàrá mímọ́ jẹ́ ọ̀kan lára ​​àwọn ọ̀nà ààbò àyíká. Báwo ni a ṣe lè lo ìmọ̀ ẹ̀rọ yàrá mímọ́ láti ṣe iṣẹ́ rere nínú ààbò àyíká? Ẹ jẹ́ ká sọ̀rọ̀ nípa ìṣàkóso ìmọ̀ ẹ̀rọ yàrá mímọ́.

Iṣakoso iwọn otutu ati ọriniinitutu ninu yara mimọ

A maa n pinnu iwọn otutu ati ọriniinitutu awọn aaye mimọ da lori awọn ibeere ilana, ṣugbọn nigbati o ba pade awọn ibeere ilana, o yẹ ki a gba itunu eniyan sinu ero. Pẹlu ilọsiwaju ti awọn ibeere mimọ afẹfẹ, awọn ibeere ti o muna wa fun iwọn otutu ati ọriniinitutu lakoko ilana.

Gẹ́gẹ́ bí ìlànà gbogbogbòò, nítorí bí iṣẹ́ náà ṣe ń pọ̀ sí i, àwọn ohun tí a nílò fún ìyípadà iwọ̀n otútù ń dínkù sí i. Fún àpẹẹrẹ, nínú iṣẹ́ ìwádìí àti ìfarahàn ti iṣẹ́ àgbékalẹ̀ àyíká onípele ńlá, ìyàtọ̀ nínú ìfàsẹ́yìn ooru láàrín àwọn gíláàsì àti àwọn ohun èlò ìbòjú tí a lò gẹ́gẹ́ bí ohun èlò ìbòjú ń dínkù sí i.

Wafer silikoni pẹlu iwọn ila opin 100 μ m nfa itẹsiwaju laini ti 0.24 μ m nigbati iwọn otutu ba ga si iwọn 1. Nitorinaa, iwọn otutu igbagbogbo ti ± 0.1 ℃ jẹ pataki, ati pe iye ọriniinitutu nigbagbogbo kere nitori lẹhin lagun, ọja naa yoo di idoti, paapaa ni awọn idanileko semiconductor ti o bẹru sodium. Iru idanileko yii ko yẹ ki o kọja 25 ℃.

Ọriniinitutu ti o pọ ju yoo fa awọn iṣoro diẹ sii. Nigbati ọriniinitutu ibatan ba kọja 55%, didi omi yoo farahan lori ogiri paipu omi tutu. Ti o ba waye ninu awọn ẹrọ tabi awọn iyika ti o peye, o le fa awọn ijamba oriṣiriṣi. Nigbati ọriniinitutu ibatan ba jẹ 50%, o rọrun lati ipata. Ni afikun, nigbati ọriniinitutu ba ga ju, eruku ti o faramọ oju wafer silikoni yoo wọ inu oju nipasẹ awọn molikula omi ninu afẹfẹ, eyiti o nira lati yọ kuro.

Bí ọ̀rinrin tó ga tó, bẹ́ẹ̀ náà ni yóò ṣe ṣòro tó láti yọ ìdè mọ́ra kúrò. Síbẹ̀síbẹ̀, nígbà tí ọ̀rinrin tó wà ní ìsopọ̀ mọ́ra bá wà ní ìsàlẹ̀ 30%, àwọn èròjà náà máa ń wọ inú ojú ilẹ̀ nítorí agbára electrostatic, àti pé ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ẹ̀rọ semiconductor máa ń fọ́. Ìwọ̀n otútù tó dára jùlọ fún ṣíṣe silicon wafer jẹ́ 35-45%.

Ìfúnpá afẹ́fẹ́iṣakosoninu yara mimọ 

Fún ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ààyè mímọ́, láti dènà ìbàjẹ́ láti òde láti wọ inú, ó ṣe pàtàkì láti mú kí ìfúnpá inú (ìfúnpá àìdúró) ga ju ìfúnpá òde lọ (ìfúnpá àìdúró). Ìtọ́jú ìyàtọ̀ ìfúnpá gbọ́dọ̀ tẹ̀lé àwọn ìlànà wọ̀nyí:

1. Titẹ ni awọn aaye mimọ yẹ ki o ga ju ti awọn aaye ti ko mọ lọ.

2. Titẹ ni awọn aaye ti o ni ipele mimọ giga yẹ ki o ga ju ti awọn aaye ti o wa nitosi pẹlu ipele mimọ kekere lọ.

3. Àwọn ilẹ̀kùn láàrín àwọn yàrá mímọ́ gbọ́dọ̀ ṣí sí àwọn yàrá tí ó ní ìpele mímọ́ gíga.

Ìtọ́jú ìyàtọ̀ ìfúnpá da lórí iye afẹ́fẹ́ tuntun, èyí tí ó yẹ kí ó lè san àtúnṣe ìjìnlẹ̀ afẹ́fẹ́ láti inú àlàfo lábẹ́ ìyàtọ̀ ìfúnpá yìí. Nítorí náà, ìtumọ̀ ti ara ti ìyàtọ̀ ìfúnpá ni ìdènà ìjìnlẹ̀ afẹ́fẹ́ (tàbí ìwọ̀lé) nípasẹ̀ onírúurú àlàfo ní yàrá mímọ́.