Oṣuwọn ikore eerun ni ile-iṣẹ iṣelọpọ IC ni ibatan pẹkipẹki iwọn ati nọmba awọn patikulu afẹfẹ ti a fi silẹ lori chirún naa. Apejọ afẹfẹ ti o dara le mu awọn patikulu ti ipilẹṣẹ nipasẹ orisun eruku kuro lati inu yara mimọ lati rii daju mimọ ti yara mimọ, iyẹn ni, agbari ti afẹfẹ ninu yara mimọ ṣe ipa pataki ninu oṣuwọn ikore ti iṣelọpọ IC. Apẹrẹ ti agbari ṣiṣan afẹfẹ ni yara mimọ nilo lati ṣaṣeyọri awọn ibi-afẹde wọnyi: dinku tabi imukuro eddy lọwọlọwọ ni aaye ṣiṣan lati yago fun idaduro awọn patikulu ipalara; ṣetọju iwọn titẹ rere ti o yẹ lati ṣe idiwọ ibajẹ agbelebu.
Agbara afẹfẹ
Gẹgẹbi ilana yara mimọ, awọn ipa ti n ṣiṣẹ lori awọn patikulu pẹlu agbara ibi-pupọ, agbara molikula, ifamọra laarin awọn patikulu, agbara ṣiṣan afẹfẹ, ati bẹbẹ lọ.
Agbara afẹfẹ: n tọka si agbara ti ṣiṣan afẹfẹ ti o fa nipasẹ ifijiṣẹ, ipadabọ afẹfẹ afẹfẹ, afẹfẹ afẹfẹ ti o gbona, gbigbọn atọwọda, ati awọn ṣiṣan afẹfẹ miiran pẹlu iwọn sisan kan lati gbe awọn patikulu. Fun iṣakoso imọ-ẹrọ ti agbegbe yara mimọ, agbara afẹfẹ jẹ ifosiwewe pataki julọ.
Awọn adanwo ti fihan pe ni iṣipopada ṣiṣan afẹfẹ, awọn patikulu tẹle iṣipopada ṣiṣan afẹfẹ ni fere iyara kanna. Ipo ti awọn patikulu ninu afẹfẹ jẹ ipinnu nipasẹ pinpin afẹfẹ. Awọn ṣiṣan afẹfẹ ti o ni ipa lori awọn patikulu inu ile ni akọkọ: ipese afẹfẹ afẹfẹ (pẹlu afẹfẹ akọkọ ati afẹfẹ afẹfẹ keji), ṣiṣan afẹfẹ ati afẹfẹ afẹfẹ afẹfẹ ti o gbona ti awọn eniyan nrin, ati afẹfẹ ti o ṣẹlẹ nipasẹ iṣẹ-ṣiṣe ilana ati awọn ohun elo ile-iṣẹ. Awọn ọna ipese afẹfẹ oriṣiriṣi, awọn atọkun iyara, awọn oniṣẹ ati ohun elo ile-iṣẹ, ati awọn iyalẹnu ti o fa ni awọn yara mimọ jẹ gbogbo awọn okunfa ti o kan ipele mimọ.
Okunfa ti o kan airflow agbari
1. Ipa ti ọna ipese afẹfẹ
(1). Air ipese iyara
Lati rii daju ṣiṣan afẹfẹ aṣọ, iyara ipese afẹfẹ gbọdọ jẹ aṣọ ni yara mimọ unidirectional; agbegbe ti o ku ti aaye ipese afẹfẹ gbọdọ jẹ kekere; ati titẹ silẹ ni ULPA gbọdọ tun jẹ aṣọ.
Iyara ipese afẹfẹ aṣọ: iyẹn ni, aiṣedeede ti ṣiṣan afẹfẹ jẹ iṣakoso laarin ± 20%.
Agbegbe ti o ku diẹ lori aaye ipese afẹfẹ: kii ṣe nikan yẹ ki o dinku agbegbe ofurufu ti fireemu ULPA, ṣugbọn diẹ ṣe pataki, FFU modular yẹ ki o gba lati ṣe simplify fireemu laiṣe.
Lati rii daju ṣiṣan afẹfẹ unidirectional inaro, yiyan idinku titẹ ti àlẹmọ tun jẹ pataki pupọ, nilo pe pipadanu titẹ ninu àlẹmọ ko le yapa.
(2). Afiwera laarin FFU eto ati axial sisan eto àìpẹ
FFU jẹ ẹya ipese air pẹlu àìpẹ ati àlẹmọ (ULPA). Lẹhin ti afẹfẹ ti fa mu nipasẹ olufẹ centrifugal ti FFU, titẹ agbara ti wa ni iyipada si titẹ aimi ni ọna afẹfẹ ati fifun ni deede nipasẹ ULPA. Agbara ipese afẹfẹ lori aja jẹ titẹ odi, nitorinaa ko si eruku ti yoo jo sinu yara mimọ nigbati a ba rọpo àlẹmọ. Awọn idanwo ti fihan pe eto FFU ga julọ si eto afẹfẹ ṣiṣan axial ni awọn ofin ti isokan iṣan ti afẹfẹ, isọdọtun afẹfẹ ati itọka imudara fentilesonu. Eleyi jẹ nitori awọn airflow parallelism ti awọn FFU eto jẹ dara. Lilo eto FFU le jẹ ki ṣiṣan afẹfẹ ninu yara mimọ dara ṣeto.
(3). Awọn ipa ti FFU ile ti ara be
FFU jẹ akọkọ ti awọn onijakidijagan, awọn asẹ, awọn ẹrọ itọsọna ṣiṣan afẹfẹ ati awọn paati miiran. Ajọ ṣiṣe ṣiṣe giga giga ULPA jẹ iṣeduro pataki julọ fun boya yara mimọ le ṣaṣeyọri mimọ ti a beere fun apẹrẹ. Awọn ohun elo ti àlẹmọ yoo tun ni ipa lori iṣọkan ti aaye sisan. Nigbati ohun elo àlẹmọ isokuso tabi awo sisan laminar ti wa ni afikun si iṣan àlẹmọ, aaye ṣiṣan iṣan le jẹ ni irọrun ṣe aṣọ.
2. Ipa ti o yatọ si iyara atọkun ti cleanliness
Ninu yara mimọ kanna, laarin agbegbe iṣẹ ati agbegbe ti kii ṣe iṣẹ ti ṣiṣan unidirectional inaro, nitori iyatọ ninu iyara afẹfẹ ni iṣan ULPA, ipa vortex ti o dapọ yoo jẹ ipilẹṣẹ ni wiwo, ati wiwo yii yoo di agbegbe ṣiṣan afẹfẹ rudurudu pẹlu paapaa kikankikan rudurudu afẹfẹ giga. Awọn patikulu le wa ni tan kaakiri si awọn dada ti awọn ẹrọ ati ki o doti itanna ati wafers.
3. Ipa ti oṣiṣẹ ati ẹrọ itanna
Nigbati yara mimọ ba ṣofo, awọn abuda ṣiṣan afẹfẹ ninu yara ni gbogbogbo pade awọn ibeere apẹrẹ. Ni kete ti ohun elo ba wọ inu yara mimọ, gbigbe eniyan ati awọn ọja ti wa ni tan kaakiri, awọn idiwọ yoo jẹ dandan si agbari ṣiṣan afẹfẹ. Fun apẹẹrẹ, ni awọn igun ti o jade tabi awọn egbegbe ti ohun elo, gaasi yoo yipada lati ṣe agbegbe agbegbe rudurudu, ati pe omi ti o wa ni agbegbe naa ko ni irọrun gbe nipasẹ gaasi, nitorinaa nfa idoti. Ni akoko kanna, dada ti ẹrọ naa yoo gbona nitori iṣiṣẹ ti nlọ lọwọ, ati iwọn otutu yoo fa agbegbe isọdọtun nitosi ẹrọ naa, eyiti yoo mu ikojọpọ awọn patikulu ni agbegbe isọdọtun. Ni akoko kanna, iwọn otutu ti o ga julọ yoo jẹ ki awọn patikulu salọ ni rọọrun. Ipa meji naa buru si iṣoro ti ṣiṣakoso mimọ laminar inaro gbogbogbo. Ekuru lati ọdọ awọn oniṣẹ ninu yara mimọ jẹ rọrun pupọ lati faramọ awọn wafers ni awọn agbegbe isọdọtun wọnyi.
4. Ipa ti ipadabọ afẹfẹ afẹfẹ
Nigbati awọn resistance ti pada air ran nipasẹ awọn pakà ti o yatọ si, a titẹ iyato yoo wa ni ti ipilẹṣẹ, ki awọn air yoo san ni awọn itọsọna ti kere resistance, ati aṣọ airflow yoo wa ko le gba. Ọna apẹrẹ olokiki lọwọlọwọ ni lati lo awọn ilẹ ipakà ti o ga. Nigbati oṣuwọn ṣiṣi ti awọn ilẹ ipakà ti o ga jẹ 10%, iyara ṣiṣan afẹfẹ ni giga iṣẹ ti yara naa le pin kaakiri. Ni afikun, akiyesi ti o muna yẹ ki o san si iṣẹ mimọ lati dinku orisun idoti ti ilẹ.
5. Induction lasan
Ohun ti a npe ni ifarabalẹ ifasilẹ n tọka si iṣẹlẹ ti afẹfẹ afẹfẹ ti o wa ni idakeji ti ṣiṣan aṣọ ti wa ni ipilẹṣẹ, ati eruku ti o wa ninu yara tabi eruku ti o wa ni agbegbe ti a ti doti ti o wa ni agbegbe ti o wa ni agbegbe ti o wa ni apa oke, ki eruku le ba chirún naa jẹ. Awọn atẹle wọnyi ni awọn iṣẹlẹ ifakalẹ ti o ṣeeṣe:
(1). Awo afọju
Ninu yara ti o mọ pẹlu ṣiṣan unidirectional inaro, nitori awọn isẹpo lori ogiri, gbogbo awọn awo afọju nla wa ti yoo ṣe rudurudu ni ṣiṣan ipadabọ agbegbe.
(2). Awọn atupa
Awọn itanna ina ni yara mimọ yoo ni ipa ti o tobi julọ. Niwọn igba ti ooru ti awọn atupa Fuluorisenti jẹ ki ṣiṣan afẹfẹ dide, kii yoo si agbegbe rudurudu labẹ awọn atupa Fuluorisenti. Ni gbogbogbo, awọn atupa ti o wa ninu yara mimọ jẹ apẹrẹ ni apẹrẹ omije lati dinku ipa ti awọn atupa lori agbari ṣiṣan afẹfẹ.
(3.) Aafo laarin awọn odi
Nigbati awọn ela ba wa laarin awọn ipin pẹlu awọn ipele mimọ ti o yatọ tabi laarin awọn ipin ati awọn orule, eruku lati agbegbe pẹlu awọn ibeere mimọ kekere le ṣee gbe si agbegbe ti o wa nitosi pẹlu awọn ibeere mimọ giga.
(4). Ijinna laarin ẹrọ ati ilẹ tabi odi
Ti aafo laarin ẹrọ ati ilẹ-ilẹ tabi ogiri ba kere pupọ, yoo fa rudurudu isọdọtun. Nitorina, fi aaye silẹ laarin awọn ohun elo ati odi ati gbe ẹrọ soke lati yago fun jẹ ki ẹrọ naa kan ilẹ taara.
Akoko ifiweranṣẹ: Kínní-05-2025