A sábà máa ń lò ó nínú iṣẹ́-ẹ̀rọ tàbí ìwádìí sáyẹ́ǹsì, yàrá mímọ́ jẹ́ àyíká tí a ń ṣàkóso tí ó ní ìwọ̀n díẹ̀ ti àwọn ohun ìdọ̀tí bí eruku, àwọn kòkòrò afẹ́fẹ́, àwọn èròjà aerosol, àti àwọn èéfín kẹ́míkà. Láti jẹ́ òótọ́, yàrá mímọ́ ní ìwọ̀n ìdọ̀tí tí a ń ṣàkóso tí a sọ nípa iye àwọn èròjà fún mita onígun mẹ́rin ní ìwọ̀n èròjà pàtó kan. Afẹ́fẹ́ àyíká tí ó wà níta ní àyíká ìlú kan ní àwọn èròjà 35,000,000 fún mita onígun mẹ́rin, 0.5 micron àti ìwọ̀n tí ó tóbi jù, tí ó bá yàrá mímọ́ ISO 9 mu tí ó wà ní ìpele tí ó kéré jùlọ ti àwọn ìwọ̀n yàrá mímọ́.
Àkópọ̀ Yàrá Mímọ́
Àwọn yàrá mímọ́ ni a ń lò ní gbogbo ilé iṣẹ́ níbi tí àwọn èròjà kéékèèké lè ní ipa búburú lórí iṣẹ́ ìṣelọ́pọ́. Wọ́n yàtọ̀ síra ní ìwọ̀n àti ìṣòro, a sì ń lò wọ́n ní àwọn ilé iṣẹ́ bíi ṣíṣe semiconductor, pharmaceuticals, biotech, medical device àti life sciences, àti ṣíṣe iṣẹ́ pàtàkì tí ó wọ́pọ̀ ní afẹ́fẹ́, optics, military àti department of energy.
Yàrá mímọ́ ni ààyè tí a fúnni níbi tí a ti ń pèsè àwọn ohun èlò láti dín ìbàjẹ́ pàtákì kù àti láti ṣàkóso àwọn ìlànà àyíká mìíràn bí iwọ̀n otútù, ọriniinitutu àti ìfúnpá. Ohun pàtàkì tí ó wà nínú rẹ̀ ni àlẹ̀mọ́ Afẹ́fẹ́ Onípele-gíga (HEPA) tí a ń lò láti dẹkùn àwọn pàtákì tí ó tó 0.3 micron àti jù bẹ́ẹ̀ lọ ní ìwọ̀n. Gbogbo afẹ́fẹ́ tí a fi ránṣẹ́ sí yàrá mímọ́ ń gba inú àlẹ̀mọ́ HEPA kọjá, àti ní àwọn ìgbà mìíràn tí ó bá jẹ́ dandan láti ṣe iṣẹ́ mímọ́ tónítóní, a ń lo àlẹ̀mọ́ Afẹ́fẹ́ Onípele-gíga Ultra Low (ULPA).
Àwọn òṣìṣẹ́ tí a yàn láti ṣiṣẹ́ ní àwọn yàrá mímọ́ máa ń gba ìdánilẹ́kọ̀ọ́ tó gbòòrò nípa ìlànà ìṣàkóso ìbàjẹ́. Wọ́n máa ń wọ inú yàrá mímọ́ náà, wọ́n sì máa ń jáde nípasẹ̀ àwọn yàrá tí a fi ń gbá afẹ́fẹ́, àwọn yàrá ìwẹ̀ àti/tàbí àwọn yàrá aṣọ, wọ́n sì gbọ́dọ̀ wọ aṣọ pàtàkì tí a ṣe láti dẹkùn àwọn ìbàjẹ́ tí awọ ara àti ara ń fà.
Gẹ́gẹ́ bí ìpín tàbí iṣẹ́ yàrá náà, aṣọ ìbora àwọn òṣìṣẹ́ lè ní ìwọ̀n tó pọ̀ tó aṣọ ìbora àti àwọn aṣọ ìbora, tàbí kí ó gbòòrò tó bí a ṣe fi àwọn aṣọ ehoro tó ní onírúurú aṣọ pẹ̀lú ohun èlò ìmí ara ẹni.
A máa ń lo aṣọ yàrá mímọ́ láti dènà kí àwọn nǹkan má baà jáde kúrò lára ẹni tó wọ̀ ọ́, kí ó sì ba àyíká jẹ́. Aṣọ yàrá mímọ́ fúnra rẹ̀ kò gbọdọ̀ tú àwọn èròjà tàbí okùn jáde láti dènà ìbàjẹ́ àyíká láti ọwọ́ àwọn òṣìṣẹ́. Irú ìbàjẹ́ òṣìṣẹ́ yìí lè ba iṣẹ́ ọjà jẹ́ ní ilé iṣẹ́ semiconductor àti ilé iṣẹ́ oògùn, ó sì lè fa àkóràn láàárín àwọn òṣìṣẹ́ ìṣègùn àti àwọn aláìsàn ní ilé iṣẹ́ ìtọ́jú ìlera fún àpẹẹrẹ.
Àwọn aṣọ yàrá mímọ́ tónítóní ní àwọn bàtà, bàtà, aṣọ ìbora, ìbòrí irùngbọ̀n, ìbòrí, ìbòrí ojú, aṣọ ìbora/àṣọ yàrá ìwádìí, aṣọ ìbora, ibọ̀wọ́ àti ìka ọwọ́, àwọn aṣọ ìbora, ìbòrí, apá àti ìbòrí bàtà. Irú aṣọ yàrá mímọ́ tónítóní tí a lò yẹ kí ó ṣe àfihàn yàrá mímọ́ tónítóní àti àwọn ìlànà ọjà náà. Àwọn yàrá mímọ́ tónítóní tí kò ní ìpele kékeré lè nílò bàtà pàtàkì tí ó ní ẹsẹ̀ dídán tí kò ní eruku tàbí ẹrẹ̀. Síbẹ̀síbẹ̀, ìsàlẹ̀ bàtà kò gbọdọ̀ fa ewu yíyọ́ nítorí pé ààbò máa ń ṣáájú. Aṣọ yàrá mímọ́ sábà máa ń nílò fún wíwọlé yàrá mímọ́. Àwọn yàrá mímọ́ tónítóní tí ó ní 10,000 lè lo àwọn aṣọ ìbora, ìbòrí orí, àti bàtà. Fún àwọn yàrá mímọ́ tónítóní ti 10, àwọn ìlànà wíwọ aṣọ pẹ̀lú ìbòrí sípì, gbogbo bàtà, ibọ̀wọ́ àti ìbòrí atẹ́gùn pípé ni a nílò.
Àwọn Ìlànà Ṣíṣàn Afẹ́fẹ́ Yàrá Mímọ́
Àwọn yàrá mímọ́ máa ń tọ́jú afẹ́fẹ́ tí kò ní èròjà nípa lílo àwọn àlẹ̀mọ́ HEPA tàbí ULPA nípa lílo àwọn ìlànà ìṣàn afẹ́fẹ́ laminar tàbí rudurudu. Àwọn ètò ìṣàn afẹ́fẹ́ laminar, tàbí unidirectional, darí afẹ́fẹ́ tí a ti sọ di mímọ́ sísàlẹ̀ nínú ìṣàn tí ó dúró ṣinṣin. Àwọn ètò ìṣàn afẹ́fẹ́ laminar sábà máa ń lo ní gbogbo 100% ti àjà láti máa tọ́jú ìṣàn onípele kan. Àwọn ìlànà ìṣàn laminar ni a sábà máa ń sọ ní àwọn ibùdó iṣẹ́ tí a lè gbé kiri (LF hoods), a sì pàṣẹ rẹ̀ nínú àwọn yàrá mímọ́ ISO-1 sí ISO-4.
Apẹrẹ yàrá mímọ́ tó péye kan gbogbo ètò ìpínkiri afẹ́fẹ́, títí kan àwọn ìpèsè fún ìpadàbọ̀ afẹ́fẹ́ tó péye, tí ó wà ní ìsàlẹ̀. Nínú àwọn yàrá ìṣàn inaro, èyí túmọ̀ sí lílo ìpadàbọ̀ afẹ́fẹ́ ògiri tó kéré ní àyíká agbègbè náà. Nínú àwọn ohun èlò ìṣàn petele, ó nílò lílo ìpadàbọ̀ afẹ́fẹ́ ní ààlà ìsàlẹ̀ ti ilana náà. Lílo ìpadàbọ̀ afẹ́fẹ́ tí a gbé sórí àjà lòdì sí àwòrán ètò yàrá mímọ́ tó péye.
Ìpínsísọ̀rí Yàrá Mímọ́
A pín àwọn yàrá mímọ́ sí ìsọ̀rí nípa bí afẹ́fẹ́ ṣe mọ́ tó. Nínú Federal Standard 209 (A sí D) ti USA, a wọ́n iye àwọn pàǹtí tó dọ́gba pẹ̀lú àti tó ju 0.5µm lọ nínú afẹ́fẹ́ onígun mẹ́rin kan, a sì ń lo iye yìí láti pín yàrá mímọ́ sí ìsọ̀rí. A tún gba orúkọ ìwọ̀n yìí nínú àtúnṣe 209E ti Standard tuntun. Federal Standard 209E ni a lò nílé. Ìsọ̀rí tuntun yìí ni TC 209 láti ọ̀dọ̀ International Standards Organization. Ìsọ̀rí méjèèjì pín yàrá mímọ́ sí ìsọ̀rí nípa iye àwọn pàǹtí tó wà nínú afẹ́fẹ́ yàrá ìwádìí. Àwọn ìsọ̀rí ìpínyà yàrá mímọ́ FS 209E àti ISO 14644-1 nílò àwọn ìwọ̀n àti ìṣirò pàtó láti pín ìpele ìmọ́tótó yàrá mímọ́ tàbí agbègbè mímọ́. Ní UK, British Standard 5295 ni a lò láti pín àwọn yàrá mímọ́ sí ìsọ̀rí. Ìsọ̀rí yìí yóò rọ́pò BS EN ISO 14644-1.
A pín àwọn yàrá mímọ́ sí ìpele gẹ́gẹ́ bí iye àti ìwọ̀n àwọn èròjà tí a gbà láàyè fún ìwọ̀n afẹ́fẹ́ kan. Àwọn nọ́mbà ńlá bíi "kilasi 100" tàbí "kilasi 1000" tọ́ka sí FED_STD-209E, wọ́n sì ń tọ́ka sí iye àwọn èròjà tí wọ́n tó ìwọ̀n 0.5 µm tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ tí a gbà láàyè fún ẹsẹ̀ onígun mẹ́rin ti afẹ́fẹ́ kan. Ìpele náà tún ń gba ààyè láti ṣe àfikún, nítorí náà ó ṣeé ṣe láti ṣàpèjúwe fún àpẹẹrẹ "kilasi 2000."
Àwọn nọ́mbà kékeré tọ́ka sí àwọn ìlànà ISO 14644-1, èyí tí ó sọ iye àwọn pàǹtíìkì tí ó tó 0.1 µm tàbí jù bẹ́ẹ̀ lọ tí a gbà láàyè fún mítà onígun mẹ́rin ti afẹ́fẹ́. Nítorí náà, fún àpẹẹrẹ, yàrá mímọ́ ISO class 5 ní ó pọ̀jù 105 = 100,000 pàǹtíìkì fún m³.
FS 209E àti ISO 14644-1 méjèèjì gbà pé ìbáṣepọ̀ log-log wà láàárín ìwọ̀n patiku àti ìṣọ̀kan patiku. Nítorí náà, kò sí ohun tí a ń pè ní òdo ìṣọ̀kan patiku. Afẹ́fẹ́ yàrá lásán jẹ́ nǹkan bí class 1,000,000 tàbí ISO 9.
Awọn Ilana ISO 14644-1 Yara Mimọ
| Kíláàsì | Àwọn Pátákótó Tó Pọ̀ Jùlọ/m3 | FED STD 209EE deede | |||||
| >=0.1 µm | >=0.2 µm | >=0.3 µm | >=0.5 µm | >=1 µm | >=5 µm | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | Kilasi 1 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | Kilasi 10 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | Kíláàsì 100 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | Kíláàsì 1,000 |
| ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | Kíláàsì 10,000 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | Kíláàsì 100,000 | |||
| ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | Afẹ́fẹ́ Yàrá | |||
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-29-2023